Sputtering targets for Glass Coatings

Material

Name

Composition [w%]

Reinheit

Form

Ag

Silber

-

3N7, 4N

Mass angefertigt

C22

 Alloys

Mass angefertigt

Mass angefertigt

Mass angefertigt

Al

Aluminium

-

3N, 4N, 5N

Mass angefertigt

Au

Gold

-

4N

Mass angefertigt

AZO

Aluminium Zinc Oxide

ZnO / Al₂O₃ (0.5 – 2)

3N5, 4N

Mass angefertigt

-

3N

4N

Mass angefertigt

Cr

Chrom

-

2N5 – 4N

Mass angefertigt

C

High Purity Graphite

-

4N

Mass angefertigt

Cu

Kupfer

-

Mass angefertigt

Mass angefertigt

CuAl

Copper Aluminum

Mass angefertigt

Mass angefertigt

Mass angefertigt

In

Indium

-

4N, 5N

Mass angefertigt

InSn

Indium-Tin

InSn 10w%

3N,4N

Mass angefertigt

ITO

Indiumzinnoxid

In2O3 / SnO2 10w%

4N

Mass angefertigt

Mo

Molybdän

-

3N5

Mass angefertigt

Nb

Niobium

-

3N5

Mass angefertigt

NiCr

Nickel-Chrom

NiCr 20w%

2N8, 3N,3N5

Mass angefertigt

NiV

Nickel-Vanadium

NiV 7w%

2N8,3N

Mass angefertigt

Si

Silicon sprayed

Bonding Type

-

3N5,4N, 5N

Mass angefertigt

SiAl

Silicon Aluminum sprayed

SiAl 8 – 10 w%

3N,3N5

Mass angefertigt

NbOx

3N5

Mass angefertigt

Sn

Zinn

-

3N, 3N5

Mass angefertigt

SST

Stainless Steel

-

Mass angefertigt

Mass angefertigt

Ti

Titan

-

2N4~5N

Mass angefertigt

TiOx

Titanoxid

Mass angefertigt

3N~4N

Mass angefertigt

W

Tungsten

3N5

Mass angefertigt

ZAO

Zinc Oxide Aluminum Oxide

ZnO / Al₂O₃ (0.5 – 2)

4N

Mass angefertigt

Zn cast

Zinc cast

Mass angefertigt

4N

Mass angefertigt

Zn sprayed

Zinc sprayed

Mass angefertigt

3N,4N

Mass angefertigt

ZnAl cast

Zinc Aluminum cast

ZnAl (0.5 – 2) w%

4N

Mass angefertigt

ZnAl sprayed

Zinc Aluminum sprayed

ZnAl (0.5 – 2) w%

3N

Mass angefertigt

ZnSn

Zinc Tin

Mass angefertigt

3N~4N

Mass angefertigt

ZrSi

Zinc Alloys

Mass angefertigt

3N up

Mass angefertigt

ZrOx

ZrOx/TiOx

Zirconium

-

3N

3N

Mass angefertigt