Cibles de pulvérisation pour Semi-conducteurs

Matériel

Nom

Composition [wt%]

Pureté

AG

Argent

100%

3N7, 4N, 5N

Al

Aluminium

100%

5N, 5N5

AlSi

Aluminium Silicium

divers

5N, 5N5

AlSiCu

Aluminium Silicium Cuivre

divers

5N, 5N5

Au

Or

100%

4N, 5N

AuAs

Or Arsenic

AuAs0,4

4N, 5N

AuGe

Germanium d'or

août12

4N, 5N

AuPt

Or Platine

divers

4N

AuSb

Antimon d'or

AuSb0,5 (30)

4N, 5N

AuSn

Étain d'or

AuSn20 (25, 30)

4N, 5N

AuZn

Or Zinc

AuZn2 (5)

4N

CoFeB

Cobalt Fer Bore

divers

4N, 4N5

Cr

Chrome

100%

3N, 3N5

CrNiAl

Chrome Nickel Aluminium

divers

3N, 3N5

CrSi

Chrome Silicium

CrSi50

3N

Cu

Cuivre

100%

4N5, 5N

CuCr

Cuivre Chrome

CuCr50

3N5

CuNi

Nickel de cuivre

divers

3N5

Hf

Hafnium

100%

3N (sauf Zr)

Ir

Iridium

100%

3N

mois

Molybdène

100%

3N5

MoSi

Silicium molybdène

100%

3N5

Ni

Nickel

100%

3N5

NiAl

Nickel Aluminium

divers

3N5, 3N8

NiCr

Nickel Chrome

divers

3N, 3N5

NiCrAl

Nickel Chrome Aluminium

divers

3N, 3N5

NiCrAlSi

Nickel Chrome Aluminium Silicium

20%

3N, 3N5

NiCrSi

Nickel Chrome Silicium

100%

3N, 3N5

NiPt

Nickel Platine

divers

3N

NiV

nickel-vanadium

NiV7

3N5

OsRu

Osmium Ruthénium

OsRu20%

3N5

Pd

Palladium

100%

3N5, 4N

Pt

Platine

100%

3N5, 4N

Ru

Ruthénium

100%

2N8, 3N, 3N8

Si

Silicium

100%

5N

Ta

Tantale

100%

3N5

Taal

Tantale Aluminium

divers

3N5

TaSi

Tantale Silicium

100%

3N, 4N, 4N5, 5N

Ti

Titane

100%

3N, 4N, 4N5, 5N

TiW

Titane Tungstène

TiW10

4N5

O

Tungstène

100%

3N5

WSi

Silicium Tungstène

TiW10

4N5