スパッタリングターゲット フラットパネルディスプレイ

材料

名前

構成 [wt%]

純度

アル

Aluminium

カスタムメイド

4N、5N

AlNd

Aluminium neodymium

-

4N

AlTa

Aluminium Tantalum

カスタムメイド

5N, 5N5

AlTi

Aluminium Titanium

カスタムメイド

5N, 5N5

アゾ

Aluminium Zinc Oxide

カスタムメイド

4N

Cr

クロム

カスタムメイド

2N5, 3N, 3N5

クロモリ

クロムモリブデン

カスタムメイド

4N、5N

銅

銅

-

4N, 4N7

Cu alloy

Copper alloy

カスタムメイド

4N、5N

アウ

金

-

4N

伊藤

インジウムスズ酸化物

カスタムメイド

4N、5N

モー

モリブデン

-

3N5、4N

MoNb

Molybdenum Niobium

カスタムメイド

3N5

MoW

Molybdenum Tungsten

カスタムメイド

3N、3N5

Nb

Niobium

カスタムメイド

3N5、4N

NbO

酸化ニオブ

カスタムメイド

4N5, 5N

Ni

Nickel

-

3N5

Ni Alloy

Nickel Alloy

カスタムメイド

3N, 4N5

シ

ケイ素

カスタムメイド

4N、5N

SiAl

Silicon Aluminium

-

3N5、4N

SiO2

Silicon Oxide

カスタムメイド

3N5、4N

銀

銀

カスタムメイド

3N、3N5

Ag Aalloys

Silver Aalloys

カスタムメイド

3N5、4N

Ta

Tantalum

カスタムメイド

3N5、4N

ティ

チタン

カスタムメイド

4N5, 5N

TiO

酸化チタン

-

3N5、4N

W

Tungsten

カスタムメイド

3N, 4N5