เป้าหมายการสปัตเตอร์สำหรับ ความต้านทานการสึกหรอ

วัสดุ

ชื่อ

Function

ความบริสุทธิ์

อัล

Aluminium

NCVM/Corrosion Resistance

4N, 5N, 5N5

อัลอัลลอยด์

Aluminium Alloy

Feature-component Aesthetic

2N5, 4N, 5N

Al2O3

Aluminium Oxide

Corrosion Resistance

4น

C

Graphite

Tools plating film

3N~5N

Cr

โครเมียม

NCVM/Corrosion Resistance

2N5, 3N, 3N5

CrAl

Chromium Aluminium

Tool Wear-resisting

2N5

CrSi

Chromium Silicon

Tool Wear-resisting

2N5

Co

Cobalt

NCVM/Corrosion Resistance

3N5

Cu Alloy

Copper Alloy

Feature-component Aesthetic

3น

Cu Alloy

Copper Alloy

Feature-component Aesthetic

3น

ใน

อินเดียม

NCVM/Corrosion Resistance

4น

InSn

Indium Tin

NCVM/Corrosion Resistance

4น

Ni

Nickel

NCVM/Corrosion Resistance

3N, 3N5, 4N5

Ni Alloy

Nickel Alloy

Against Corrosion

2N5, 3N

นิเคร

นิเกิลโครเมียม

Tools plating film/Low resistance film

2N5

NiCrAl

Nickel Chromium Aluminium

Low resistance film

2N5

NiCrSi

Nickel Chromium Silicon

Low resistance film

2N5

NiCu

Nickel Copper

Low resistance film

2N5

ซิลิคอน

ซิลิคอน

Antireflection Coating (AR)

5น

SiO2

ซิลิคอนไดออกไซด์

Antireflection Coating (AR)

3N5

ส

ดีบุก

NCVM/ Corrosion Resistance

3N, 4N, 5N

Ti

ไทเทเนียม

Antireflection Coating (AR)

2N7~4N5

Ti Alloys

Titanium Alloys

Tools plating film

2N5

TiAl

ไทเทเนียม อลูมิเนียม

Tool Wear-resisting

2N5

TiAlSi

Titanium Aluminium Silicon

Tool Wear-resisting

2N5

TiSi

Titanium Silicon

Tool Wear-resisting

2N5

W

Tungsten

Tools plating film

3น

WC

Tungsten Carbide

Tools plating film

3น

Zr

Zirconium

Tool Wear-resisting

2N5